E3F3-R82M 2M產品特點及功能介紹：
晶圓片托架的落座檢測。
通過與導槽并用的方式設定落座位置。
與晶圓片托架的接觸面使用了耐化學藥品性強的氟素樹脂。
獨有的光學系統幾乎可穩定檢測所有晶圓片托架。
采用抗干擾光的變調光方式。
使用環保導線（無滑石粉）。尺寸：96×96mm。
控制輸出1：繼電器輸出。
控制輸出2：--。
輔助輸出：3點。
通信：--E3F3-R82M 2M
加熱器斷線：--。
事件輸入：--。
電源電壓：AC/DC24V。
使用大字體PV顯示(白色)，提高可視性。
選型、設定及操作更為簡捷多組輸入/輸出，
功能齊全性能更強、功能更完善應用更范圍更為廣泛。
E5EC-800的白光LCD-PV顯示屏高度約為18mm，
而E5AC-800的白光LCD-PV顯示屏高度約為25mm改進了可視性。
主體短小，厚度僅為60mm。
50ms高速采樣周期。
新型位置比例控制型號使您還可以控制閥門。E3X-DA11SE-S分類：單功能型 ，
控制輸出：NPN輸出，
擴展傳感器技術的新世紀檢測平臺耐水性能優異的樹脂外殼型接近開關。
符合IP68，出類拔萃的保護結構。
防止相互干擾（備有異頻型）。
種類：屏蔽，M12。
檢測距離：2mm。
輸出形式：交流2線式。
動作模式：NC。可檢測非金屬物體通用螺紋安裝型。
通用螺紋切削式靜電容量型。
備有M12、 M18、 M30型。
檢測距離固定的無調整型。
形狀：非屏蔽，M30。
檢測距離：15mm。
輸出形式：交流2線式。
動作模式：NC。E5CN、E5EN、E5AN、E5ZN、E5□R用軟件。
能縮短參數設定、裝置調整、維護的時間。
能用計算機編制、編輯和下載全部參數。
能減少參數設定的工時。
在線功能。
多能同時31 臺的數據。
（但是于同一系列的溫控器）。
參數掩碼（不顯示不使用的參數）功能。
（E5_N、E5_R）
與CX-Programmer同時啟動并一起使用，
能共享CX-Programmer所使用的文件夾。
配置有僅通過單元編號就能自動檢索型號的功能及，
趨勢連接功能（自動巡視功能）。端子部形狀:端子露出型。
保護管直徑D:φ15mm。
元件種類：J（IC）。
保護管長度L：100cm。
品種豐富的溫度傳感器系列。
在以往的M3螺釘對應品的基礎上，
追加有助于降低配線工時的棒狀端子對應品。
溫度傳感器是用作溫控器的熱感應部件。
可根據要測量的溫度、場所、 周圍環境選擇。
備有種類、形狀、 長度及端子部形狀各異的產品。尺寸：48×48mm，端子臺型。
種類：控制輸出2點型（電源AC100～ 240V用）。
外殼顏色：黑色。
控制輸出1：電壓輸出（SSR驅動用）。
控制輸出2：電壓輸出（SSR驅動用）。
控制模式：標準或加熱冷卻。
輔助輸出點數：2點。
加熱器斷線、 SSR故障檢測功能：單相或三相加熱器用檢測功能。
事件輸入點數：--。
傳送輸出：--。
通信：RS-485。
新增程序型。
采用大256段程序容量，較高性價比的新型液晶，
可視角度、對比度得以提升。
可設定多8個程序（模式）×32段（步）的程序。
高分辨率的5位顯示/可顯示0.01°C（實現了48×48mm的小尺寸）。
高速采樣周期60ms。
全部機型完整多種（能夠熱電偶/Pt/模擬輸入切換），
1臺機器支持多種傳感器。
增加PV/SV狀態顯示功能，方便便查看溫控器的狀態
（自動/手動、RUN/RESET、報警發生），
可交互顯示PV/SV。
通過支持持軟件（CX-Thermo Ver.4.3），
在簡易運算功能（AND/OR邏輯和）。
設定中輕松設定能夠執行柔性的接點輸出的程序設定。
控制輸出ON/OFF次數計數功能可預測溫控器內部繼電器的故障。
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